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超纯水是工业水处理处理中的水质非常高的水。判别水质的纯度，通常习惯上用水的电阻率来进行区分。那么超纯水电阻率是多少呢？首先我们要先了解超纯水电导率的相关知识。
电导率是表示水中溶解离子导电能力的指标。电导率用电导仪进行测量，其单位为微西门子/厘米(即us/cm)。电导率也是测量水中离子浓度的简便方法，但不能精确反应离子种类。离子构成不同，电导率值也不同。但有一点是确定的，电导率的数值会随着离子浓度的增加而增加。
我们选用电导率作为水质纯度检测到原因还在于电导率测定可以在现场进行，而且比总溶解固体的测定简单很多。所以，电导率经常被用来替代总溶解固体表征反渗透和纳滤系统的脱盐率。在大多数情况下，采用电导率计算的系统脱盐率要低于总溶解固体计算的系统脱盐率，主要原因在于硅离子对电导率变化不产生影响。
从物理知识，我们知道，电导率是电阻率的倒数。所以，知道电阻率就能计算出来电导率。
从国家电子级水电技术标准中可以看出，超纯水设备制取的超纯水一般是指18兆欧超纯水或18兆欧以上的超纯水(理论上水的电阻率为18.3兆欧)，也称为电子级超纯水。所以，超纯水电导率为：1/电阻率，即为0.1-0.055μs/cm。这样的水质可以采用EDI超纯水处理系统进行制取。
