超纯水水质指标常用的是电阻率,总有机碳,颗粒,热源 超纯水水质指标分为一级超纯水水质指标和二级超纯水水质指标 分别为电阻率(25℃)MΩ。cm≥15 ≥10 2。电导率μS/cm0.05 0.1 3. ph值6.8-7.2 6.6-7.4 4.细菌 总数个/mL <3 <9 5.微粒(直径>0.5μm,粒/mL)<150 <300 6. 二氧化硅<10 <20 7.有机物(以COD计)<0.3 <0.5 8.钠 N<0.5 <2